Filtrasi Kimiawi Karbon Aktif dan Penukar Ion untuk Eliminasi Airborne Molecular Contamination (AMC) pada Fabrikasi Mikroelektronika

Menyaring Molekul Gas Berbahaya bagi Wafer Silikon

Pada proses fabrikasi chip mikroprosesor semikonduktor, kontaminasi bukan hanya berupa partikel debu padat, melainkan molekul gas kimiawi (AMC). Filter kemisorpsi impregnated carbon menetralkan kontaminan korosif sebelum merusak litografi sirkuit.